涡轮分子泵
分子泵工作原理
结构图:型谱图:使用温度:
分子泵的结构和原理图
现代涡轮分子泵的进展
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在干泵粗抽时, 气体要先经过两个结构复杂,流阻大的分子泵才能排到 |